該試驗箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。那厭氧高溫試驗箱測試標準有哪些,下面來(lái)看廣州智品匯電子科技有限公司是如何說(shuō)明的。
特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100。
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破盡,304不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵。
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設計)方向送風(fēng),過(guò)濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))。
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結構,溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到*佳溫度控制精度。